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Présentation Stage Master

"Stratégies de Pilotage de Micro-Actionneurs Quadri-stables Sans-Fil par Moyens Optiques"

M. Saadallah EL DARAZI

Encadrants de stage :M. Frédéric LAMARQUEM. Hani AL HAJJAR

UNIVERSITÉ DE TECHNOLOGIE DE COMPIEGNE (UTC)

LABORATOIRE ROBERVAL, UMR 7337

Travail demandé

Compréhension du système mécanique du micro-actionneur quadri-stable basé sur des poutres flambées bistables et actionné par des alliages à mémoire de forme (AMF)

Conception des petites pièces de support des AMF Montage d’un système optique utilisant un micro-miroir MEMS (Mirrorcle) pour chauffer

les AMF Pilotage d’un micro-actionneur quadri-stable par moyen opto-mécanique

Conception d’un dispositif d’actionnement piézoélectrique pour des fonctions de mouvements d’éléments optiques en contexte automobile

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Plan de Présentation

I. Introduction

II. Conception du système mécanique d’actuation

III. Stratégie de pilotage du micro-actionneur par balayage opto-mécanique

IV. Démonstration de l’actionnement d’un bistable puis d’un quadri-stable

V. Conclusion et perspective

Conception d’un dispositif d’actionnement piézoélectrique pour des fonctions de mouvements d’éléments optiques en contexte automobile

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Conception d’un dispositif d’actionnement piézoélectrique pour des fonctions de mouvements d’éléments optiques en contexte automobile

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I. Introduction

Conception d’un dispositif d’actionnement piézoélectrique pour des fonctions de mouvements d’éléments optiques en contexte automobile

5 Etat de l’art

Les actionneurs bistables basés sur les poutres flambés :

Actionneur à poutre pré-comprimée

Actionneurs à poutres parallèlement préformées et centralement pincées

Actionneurs à poutres symétriquement préformées et centralement pincées

saadallah darazi

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6 Etat de l’art

Elément pousseur ou moteur : Alliages à mémoire de forme (AMF) :

Forme droite à chaud

Chaque AMF pousse vers une position stable

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7 Etat de l’art

Techniques de pilotage :

Un seul laser par AMF (encombrante)

Chauffage de l’espace de travail par une seule source lumineuse à différentes longueurs d’onde avec des filtres sur les AMF

Chauffage d’un point précis de l’espace de travail par balayage opto-mécanique

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II. Conception du système mécanique d’actuation

Analyse cinématique

Présentation du micro-actionneur : Composé de deux structures bistables

Fabriqué en silicium par DRIE

4 positions stables pour l’anneau central

Schéma simplifié des positions :

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{¿+250µm+50 µm

¿ −50µm−250µm

Emplacement des AMF

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Les éléments pousseurs revêtus

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Les éléments pousseurs revêtus

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Nitinol sans couche SiO2Nitinol avec couche SiO2Le Nitinol revêtu de SiO2

Les éléments pousseurs revêtus

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saadallah darazi
saadallah darazi
-approche le capteur j'usque le premier contact
saadallah darazi
-chauffage AMF qui entraine une force (capteur) et un deplacement (plateau lineaire supportant le capteur)
saadallah darazi
-obtention de la courbe, pour realiser deplacement de 200 µm on obtient une force de 80 mN

Pièces de support des AMF

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III. stratégie de pilotage du micro-actionneur par balayage opto-mécanique

Fonctionnement attendu de l’actionneur quadri-stable

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Balayage opto-mécanique par micro-miroir Le micro-mirroir Mirrorcle

Principe de fonctionnement

Modes de balayage optique

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saadallah darazi
MIrrocle a plusieur diametre
saadallah darazi
compose de 4 actionneurs rotatifs travaillants par pairs pour generer 2 rotations X ET Y
saadallah darazi
mode de balayage point a point (en dessous de resonnance) et mode resonnnant et mode entre les 2 (1 axe mode 1 et le second mode 2)

Commande du Micro-miroir Mirrorcle

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Algorithme suivi sur LABVIEW

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Commande du Micro-miroir Mirrorcle

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Iv. Démonstration de l’actionnement d’un bistable puis d’un quadri-stable

Montage optique pour le balayage en plan horizontal

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saadallah darazi
but : balayage + focalisation
saadallah darazi
illumine le mirrocle par faisceau colimaté et il reflechit un faisceau dans une direction
saadallah darazi
la lentille focalise sur un point du plan focal

Démonstration de l’actionnement d’un bistable

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Montage optique pour le balayage en plan vertical

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Miroir fixe

Element imprimé

Démonstration de l’actionnement d’un quadri-stable

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Courbe de déplacement

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saadallah darazi
course interne de 267 au lieu de 294
saadallah darazi
course externe 187 au lieu de 195 µm
saadallah darazi
(defaut d'usinage)
saadallah darazi
point de basculement pas tout a fait au centre car on a de la colle qui joigne les deux pieces de depart du micro-actionneur quadri-stable

Conclusion

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Conception des pièces de support des AMF Pilotage du micro-miroir via LabVIEW Pilotage de l’actionneur quadri-stable par un montage optique utilisant le

micro-miroir Validation de la méthode de balayage opto-mécanique comme solution pour

la commande d’un réseau de micro-actionneurs

Perspective

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MERCI POUR VOTRE

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