BTACORA ENCENDIDO Y APAGADO DEL MAGNETRON

SPUTTERING UNICAUCA

1. Abrir flujo de agua. No mucho para que no empiece a gotear.

2. Asegurarse de las conexiones elctricas.

3. Encender el equipo (Perilla roja en 1 y todos los breques arriba).

4. Empiezo a hacer vaco con la bomba mecnica, en la parte trasera, hasta llegar a una

presin de 2x100 o por media hora. Para encender oprimir 1.

5. Se continua haciendo vaco con la TURBO. Se oprime el botn que se muestra en la

grfica. Se deja haciendo vaco ms o menos por media hora.

6. Se coloca la turbo a un 70%, oprimiendo el botn que se muestra a continuacin.

7. Se enciende el RF, como se muestra a continuacin.

8. Se enciende el horno, oprimiendo el botn ROJO.

9. Para variar la temperatura se mueven las perillas al lado del botn rojo, para variar voltaje y

corriente, respectivamente. En mi caso, para alcanzar 500 C, la perilla de la derecha se

mueve hasta 7 aproximadamente, y la perilla de la izquierda, hasta 1 aproximadamente.

10. Antes de abrir el flujo de Argn, hay que verificar que la vlvula del cilindro del magnetrn

est cerrada, en la perilla que se muestra a continuacin.

11. Se abre la llave de la pipa de Argn, luego la llave del flujmetro.

12. Se abre el paso de la vlvula (que se muestra a continuacin) hasta que el medidor (que se

muestra al lado) llegue hasta 2-8x10-1

mbar, se espera 5 minutos.

13. Se enciende el RF, oprimiendo la parte superior del botn que se muestra a continuacin

con la flecha roja.

A continuacin se oprime el botn que se muestra con la flecha roja (que alumbre verde).

14. Ahora para encender el plasma, se lleva a 9 Watts de la perilla que se muestra con la flecha

roja que se muestra a continuacin..

Moviendo la perilla del flujo de argn (abrirla bastante y cerrarla nuevamente).

Luego que ha prendido el plasma, se coloca la presin de trabajo que se necesita, en mi caso

8x10-3

mbar, y se cuida que la potencia reflejada sea cero, o por lo menos muy cercana a

cero.

15. Cuando ya se ha hecho pre-sputtering y se ha alcanzado la temperatura de trabajo, se quita

el shootter.

16. Se mantiene la deposicin por el tiempo necesario, en mi caso 1 hora. Se debe estar

pendiente de que la potencia reflejada siempre sea cero (o por lo menos muy cercana), que

la temperatura sea la necesaria y que la presin de trabajo se mantenga constante.

17. Cuando se termina la deposicin se cierra el shooter y se procede a apagar el equipo como

se indica a continuacin.

a. Se baja a cero la frecuencia (con la perilla que se muestra con la flecha violeta), se

oprime el botn que se muestra con la flecha roja y se apaga de la parte trasera (0).

b. Se cierra el flujo de gas, primero de la perilla del cilindro del magnetrn, luego de

la pipa y el flujmetro.

c. Unos 15 minutos despus se apaga el vaco, primero la turbo del botn que se

muestra a continuacin, y despus la mecnica, de la parte trasera.

d. Se apaga el horno, colocando primero en cero el voltmetro y el ampermetro y

oprimiendo el botn verde.

e. Cuando se alcanza la temperatura ambiente, se cierra, por ltimo, el flujo de agua y

se apaga de la perilla roja (0) y se bajan los breques.

NOTAS.

1. Tenga en cuenta que si se va el agua debe apagar (como se indica arriba) inmediatamente

el equipo.

2. Si ya est depositando la pelcula y se va la energa elctrica es mejor que cambie de

probeta y vuelva a empezar (para lo cual debe esperar que el equipo se enfre).