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MINISTERIO DE DEFENSA DIRECCIÓN GENERAL DE ARMAMENTO Y MATERIAL SUBDIRECCIÓN GENERAL DE TECNOLOGÍA Y CENTROS EL PROYECTO KORRIGAN Subdirección General de Tecnología y Centros CDTI, 27 de abril de 2010 DGAM 0 Germán Vergara Ogando DGAM

EL PROYECTO KORRIGAN - CDTIeshorizonte2020.cdti.es/recursos/doc/Programas/... · ARMAMENTO Y MATERIAL SUBDIRECCIÓN GENERAL DE TECNOLOGÍA Y CENTROS Dimensión del proyecto KORRIGAN

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MINISTERIODE DEFENSA

DIRECCIÓN GENERAL DEARMAMENTO Y MATERIAL

SUBDIRECCIÓN GENERAL DETECNOLOGÍA Y CENTROS

EL PROYECTO KORRIGAN

Subdirección General de Tecnología y Centros

CDTI, 27 de abril de 2010

DGAM0

Germán Vergara Ogando DGAM

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MINISTERIODE DEFENSA

DIRECCIÓN GENERAL DEARMAMENTO Y MATERIAL

SUBDIRECCIÓN GENERAL DETECNOLOGÍA Y CENTROS

Tecnología GaN en Europa antes 2005

• Numerosos programas nacionales, con solapes y falta de coordinación

• No había una cadena de suministro europea que asegurase su soberanía tecnológica

• No había oportunidad de comparar dispositivos y procesos

• La experiencia existente en el manejo de densidades de potencia altas era limitadap

• No había una aproximación coordinada al problema de la FiabilidadFiabilidad

• Los usuarios finales estaban lejos de la tecnología del GaN

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GaN

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MINISTERIODE DEFENSA

DIRECCIÓN GENERAL DEARMAMENTO Y MATERIAL

SUBDIRECCIÓN GENERAL DETECNOLOGÍA Y CENTROSEl Proyecto KORRIGAN

KORRIGANKORRIGANKey Organisation foR Research in Integrated Circuits in GaN technology

El principal objetivo de KORRIGAN era desarrollar unacadena de suministro europea de transistores HEMT y MMIC

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p ybasados en la tecnología del GaN

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MINISTERIODE DEFENSA

DIRECCIÓN GENERAL DEARMAMENTO Y MATERIAL

SUBDIRECCIÓN GENERAL DETECNOLOGÍA Y CENTROS

Dimensión del proyecto

KORRIGAN es la iniciativa más importante lanzada nunca en EuropaKORRIGAN es la iniciativa más importante lanzada nunca en Europa en el ámbito de la microelectrónica

• Ministerios de Defensa de 7 países (ES, FR, DE, IT, NE, SE, UK)

• 27 empresas e instituciones (consorcio) + otros organismos

• 45 M€ / 54 meses

• 10 Sesiones Plenarias / + 60 reuniones /+ 200 teleconferencias

• + 120 científicos /+ 30 tesis doctorales / + 60 artículos internacionales

internacionales

• 86 documentos / + 5.000 páginas

• Material : 314 GaN/SiC / 45 GaN/zafiro / 10 GaN/Si

5 i h / 4 f d i / “T k F ” Fi bilid d

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• 5 epi-houses / 4 foundries / “Task Force” Fiabilidad

• 2 run /29 circuitos / 6 módulos completos

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MINISTERIODE DEFENSA

DIRECCIÓN GENERAL DEARMAMENTO Y MATERIAL

SUBDIRECCIÓN GENERAL DETECNOLOGÍA Y CENTROS

Tecnología GaN en Europa antes 2005

Numerosos programas nacionales, con solapes y falta de coordinación

• No había una cadena de suministro europea que asegurase su soberanía tecnológica

• No había oportunidad de comparar dispositivos y procesos

• La experiencia existente en el manejo de densidades de potencia altas era limitadap

• No había una aproximación coordinada al problema de la FiabilidadFiabilidad

• Los usuarios finales estaban lejos de la tecnología del GaN

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GaN

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DIRECCIÓN GENERAL DEARMAMENTO Y MATERIAL

SUBDIRECCIÓN GENERAL DETECNOLOGÍA Y CENTROS

Organización y Coordinación

.

• Gestión del proyecto Thales FR

• 6 Subproyectos• 6 Subproyectos • SP1 System Aspects• SP2 Materials

SP3 P i• SP3 Processing• SP4 Reliability• SP5 Thermal Management• SP6 Demonstrators

• Grupo de gestión del proyecto: 7 representantes nacionales. p g p y pUno por Ministerio de Defensa.

• Gracias a KORRIGAN se ha creado una gran red europeaGracias a KORRIGAN se ha creado una gran red europea de laboratorios y científicos que comparten mismas reglas de diseño, mismo material y una gran cantidad de información.

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• KORRIGAN tiene continuación

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DIRECCIÓN GENERAL DEARMAMENTO Y MATERIAL

SUBDIRECCIÓN GENERAL DETECNOLOGÍA Y CENTROS

Continuación de KORRIGAN

.

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MINISTERIODE DEFENSA

DIRECCIÓN GENERAL DEARMAMENTO Y MATERIAL

SUBDIRECCIÓN GENERAL DETECNOLOGÍA Y CENTROS

Tecnología GaN en Europa antes 2005

• Numerosos programas nacionales, con solapes y falta de coordinación

No había una cadena de suministro europea que asegurase su soberanía tecnológica

• No había oportunidad de comparar dispositivos y procesos

• La experiencia existente en el manejo de densidades de potencia altas era limitadap

• No había una aproximación coordinada al problema de la FiabilidadFiabilidad

• Los usuarios finales estaban lejos de la tecnología del GaN

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GaN

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DIRECCIÓN GENERAL DEARMAMENTO Y MATERIAL

SUBDIRECCIÓN GENERAL DETECNOLOGÍA Y CENTROS

Cadena de suminsitro soberana

En KORRIGAN se han tratado todos y cada uno de los eslabones de la cadena de suministro de dispositivos:de la cadena de suministro de dispositivos:

• Substratos SiC: 2” y 3”• Substratos SiC: 2 y 3• Epitaxias• Procesado

Guias de diseño y librería de modelos• Guias de diseño y librería de modelos

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DIRECCIÓN GENERAL DEARMAMENTO Y MATERIAL

SUBDIRECCIÓN GENERAL DETECNOLOGÍA Y CENTROS

Substratos de SiC

• Norstel AB ha realizado un esfuerzo muy importante en la mejora de sus procesos

•Ha suministrado regularmente substratos a todo el consorcio durante el proyectop y

• Substratos de 3”

• En la actualidad ya trabaja en el suministro de SiC de 4”

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MINISTERIODE DEFENSA

DIRECCIÓN GENERAL DEARMAMENTO Y MATERIAL

SUBDIRECCIÓN GENERAL DETECNOLOGÍA Y CENTROS

Epitaxias de GaN

.• 5 Epihouses: QinetiQ, Picogiga, III-V Lab, U. Lecce y U. Linkoping

• Más de 250 obleas procesadas con una estructura común

• Al final del proyecto se consiguieron eficiencias de producción mayores del 90 % en las principales epihouses

• Capacidad para procesar obleas de 3” en todos los laboratoriosCapac dad pa a p ocesa ob eas de 3 e odos os abo a o os

• QinetiQ y Picogiga pueden procesar obleas de hasta 6”

• Métodos estándar de caracterización establecidos

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DIRECCIÓN GENERAL DEARMAMENTO Y MATERIAL

SUBDIRECCIÓN GENERAL DETECNOLOGÍA Y CENTROS

Procesado

.

• 4 Foundries: QinetiQ, SELEX SI, Tiger y U. Chalmers• Se ha definido una PCM común• 2 Runs2 Runs• Numerosos logros en tecnologías genéricas• CPW Technology ( QinetiQ, SELEX y Tiger)• MS Technology ( Chalmers SELEX y Tiger)• MS Technology ( Chalmers, SELEX y Tiger)

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DIRECCIÓN GENERAL DEARMAMENTO Y MATERIAL

SUBDIRECCIÓN GENERAL DETECNOLOGÍA Y CENTROS

Modelado y Diseño

.

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DIRECCIÓN GENERAL DEARMAMENTO Y MATERIAL

SUBDIRECCIÓN GENERAL DETECNOLOGÍA Y CENTROS

Tecnología GaN en Europa antes 2005

• Numerosos programas nacionales, con solapes y falta de coordinación

• No había una cadena de suministro europea que asegurase su soberanía tecnológica

No había oportunidad de comparar dispositivos y procesos

• La experiencia existente en el manejo de densidades de potencia altas era limitadap

• No había una aproximación coordinada al problema de la FiabilidadFiabilidad

• Los usuarios finales estaban lejos de la tecnología del GaN

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GaN

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DIRECCIÓN GENERAL DEARMAMENTO Y MATERIAL

SUBDIRECCIÓN GENERAL DETECNOLOGÍA Y CENTROS

Comparación entre tecnologías

.

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MINISTERIODE DEFENSA

DIRECCIÓN GENERAL DEARMAMENTO Y MATERIAL

SUBDIRECCIÓN GENERAL DETECNOLOGÍA Y CENTROS

Tecnología GaN en Europa antes 2005

• Numerosos programas nacionales, con solapes y falta de coordinación

• No había una cadena de suministro europea que asegurase su soberanía tecnológica

• No había oportunidad de comparar dispositivos y procesos

La experiencia existente en el manejo de densidades de potencia altas era limitadap

• No había una aproximación coordinada al problema de la FiabilidadFiabilidad

• Los usuarios finales estaban lejos de la tecnología del GaN

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GaN

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DIRECCIÓN GENERAL DEARMAMENTO Y MATERIAL

SUBDIRECCIÓN GENERAL DETECNOLOGÍA Y CENTROS

Gestión de altas potencias

I t ió d d l té i

.

• Intercoparación de modelos térmicos• Simplificaciones en los parámetros de modelado• Simulaciones en regímenes estacionarios y transitorios• Muy buen acuerdo entre simulaciones y medidas• Creada una base de datos de modelos térmicos muy amplia• Se han probado nuevos materiales y empaquetados p y p q

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DIRECCIÓN GENERAL DEARMAMENTO Y MATERIAL

SUBDIRECCIÓN GENERAL DETECNOLOGÍA Y CENTROS

Tecnología GaN en Europa antes 2005

• Numerosos programas nacionales, con solapes y falta de coordinación

• No había una cadena de suministro europea que asegurase su soberanía tecnológica

• No había oportunidad de comparar dispositivos y procesos

• La experiencia existente en el manejo de densidades de potencia altas era limitadap

No había una aproximación coordinada al problema de la FiabilidadFiabilidad

• Los usuarios finales estaban lejos de la tecnología del GaN

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GaN

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DIRECCIÓN GENERAL DEARMAMENTO Y MATERIAL

SUBDIRECCIÓN GENERAL DETECNOLOGÍA Y CENTROS

Fiabilidad•Se creó un grupo especificamente dedicado a la fiabilidad “Task Force”

.

g p p•Se desarrollaron herramientas para identificar el origen de los efectos parásitos, reduciendo la corriente de colapso y controlando el efecto KinkKink

• Se desarrollaron herramientas para el test acelerado de transistores HEMT

• Se identificaron modos y mecanismos de fallo de HEMTs AlGaN/GaN• Se identificaron modos y mecanismos de fallo de HEMTs AlGaN/GaN• Se identificaron y resolvieron problemas de fiabilidad relacionados con el procesadoS ll ó b t b j d i ti ió l i d l• Se llevó a cabo trabajos de investigación relacionados con la degradación en el funcionamiento de los dispositivos debido al efecto piezoeléctrico inverso.

• Se entendió la física que hay detrás de algunos mecanismos de fallo y se proposieron maneras de resolverlos

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DIRECCIÓN GENERAL DEARMAMENTO Y MATERIAL

SUBDIRECCIÓN GENERAL DETECNOLOGÍA Y CENTROS

Tecnología GaN en Europa antes 2005

• Numerosos programas nacionales, con solapes y falta de coordinación

• No había una cadena de suministro europea que asegurase su soberanía tecnológica

• No había oportunidad de comparar dispositivos y procesos

• La experiencia existente en el manejo de densidades de potencia altas era limitadap

• No había una aproximación coordinada al problema de la FiabilidadFiabilidad

Los usuarios finales estaban lejos de la tecnología del GaN

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GaN

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SUBDIRECCIÓN GENERAL DETECNOLOGÍA Y CENTROS

KORRIGAN acercó la tecnología GaN a los usuarios finales

En KORRIGAN se ha demostrado la utilidad de los dispositivos GaN para aplicaciones relevantes tales como módulos front end en banda X y en banda ancha usando MMICs de GaN:banda ancha usando MMICs de GaN:

• HPAs robustosSPDT d lt t i• SPDTs de alta potencia

• LNAs robustos • Amplificadores de banda ancha

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SUBDIRECCIÓN GENERAL DETECNOLOGÍA Y CENTROS

Circuitos MMICs desarrollados

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SUBDIRECCIÓN GENERAL DETECNOLOGÍA Y CENTROS

Circuitos MMICs desarrollados

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DIRECCIÓN GENERAL DEARMAMENTO Y MATERIAL

SUBDIRECCIÓN GENERAL DETECNOLOGÍA Y CENTROS

Tecnología GaN despues de KORRIGAN

• Se ha creado una red europea de laboratorios y empresas que trabajarán en GaN

• Se ha asegurado una cadena se suministro europea y soberana de dispositivos GaN

• Se ha generado una gran cantidad de material y formas comunes de hacer

• Se ha avanzado en la gestión térmica de dispositivos de potenciap

• Existe una acción coordinada para el estudio de la fiabilidad en estos circuitosfiabilidad en estos circuitos

• Los usuarios finales están familiarizados con circuitos GaN

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GaN

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DIRECCIÓN GENERAL DEARMAMENTO Y MATERIAL

SUBDIRECCIÓN GENERAL DETECNOLOGÍA Y CENTROS

Muchas GraciasMuchas Gracias

Subdirección General de Tecnología y Centros

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Dirección General de Armamento y MaterialMinisterio de Defensa