Click here to load reader
View
2
Download
0
Embed Size (px)
KAR
HSS
RAKTERIS
S YANG D
SASI SIFA
DILAPISI
Untu
menc
HE
PROG JU
FAKUL UNIV
AT MEKA
TiN DEN
TUG
uk memenu
capai deraja
di Te
Diaj
ERMAWAN
04
GRAM ST URUSAN LTAS SAI
VERSITAS YOG
i
ANIS BAH
GAN TEK
GAS AKHIR
uhi sebagai p
at Sarjana T
eknik Mesin
jukan oleh :
N AGUNG
45214040
UDI TEK TEKNIK
INS DAN T S SANATA
GYAKART 2009
HAN PAH
KNOLOG
R
persyaratan
Teknik Mesi
n
:
WIJAYA
KNIK MES K MESIN
TEKNOL A DHARM TA
HAT POTO
GI SPUTTE
n
in
SIN
LOGI MA
ONG BAJ
ERING DC
JA
C
Mechanical Ch
P
MEC ME
S
aracteriza
Presented a
To O
HE
CHANICA ECHANIC SCIENCE
SANA
ation of th
using S A
as Partial Fu
Obtain the S
In Mechani
ERMAWAN
04
AL ENGIN CAL ENGI E AND TE ATA DHA
YOG
ii
he TiN Lay
Sputtering A THESIS
ulfillment o
Sarjana Tek
ical of Engi
By:
N AGUNG
45214040
NEERING INEERIN
ECHNOLO ARMA UN
GYAKART 2009
yered Chis
DC
f the Requir
knik Degree
ineering
WIJAYA
G STUDY P NG DEPAR OGY FAC NIVERSIT TA
sel HSS St
rements
e
PROGRA RTMENT
CULTY TY
teel Mater
AM T
rial
vi
INTISARI
Pahat potong baja HSS merupakan pahat potong yang digunakan pada mesin-mesin
konvensional seperti mesin bubut. Pahat potong baja HSS akan mengalami keausan jika digunakan secara terus-menerus. Untuk memperbaiki salah satu sifatnya agar tahan aus dengan meningkatkan kekerasannya. Peningkatan kekerasan pahat potong baja HSS dapat dilakukan dengan teknik sputtering dc.
Kondisi optimal deposisi lapisan tipis TiN pada pahat baja HSS diperoleh dari pengujian sampel pahat yang telah divariasi suhu, waktu pelapisannya dan aliran gas reaktif nitrogen. Mesin sputtering dc dioperasikan pada tekanan tetap sebesar 1,8 x 10-1 torr, beda potensial sebesar 5 kV, arus sebesar 18 mA dan aliran gas sputter, gas argon sebesar 34,02 sccm. Setiap layer hasil deposisi lapisan tipis TiN dan pahat baja HSS mula-mula diuji kekerasannya menggunakan alat uji kekerasan knoop dengan beban penekanan sebesar 10 g. Kekerasan optimal dari pahat baja HSS yang telah dilakukan pengujian knoop dan pahat baja HSS mula- mula dapat dilakukan pengujian SEM dan EDS.
Hasil penelitian deposisi lapisan tipis TiN pada pahat potong baja HSS dengan pahat baja HSS mula-mula menunjukkan adanya peningkatan kekerasan dari kekerasan pahat baja HSS mula-mula sebesar 819 kg /mm2 menjadi 2182,26 kg /mm2 dengan kenaikan kekerasan sebesar 166 %. Pada pengujian SEM menunjukkan adanya pelapisan dan pengujian EDS menunjukkan adanya unsur Ti dan N di permukaan pahat baja HSS bila dibandingkan dengan pahat baja HSS mula-mula. Kata kunci : Sputtering, TiN, HSS
viii
KATA PENGANTAR
Puji syukur penulis panjatkan kepada Tuhan Yang Maha Esa atas rahmat
dan anugrah-Nya, sehingga Tugas Akhir ini dapat tersusun dan dapat terselesaikan
dengan lancar. Tugas Akhir ini merupakan salah satu syarat yang harus ditempuh
untuk memperoleh gelar Sarjana Teknik di Jurusan Teknik Mesin Fakultas Sains
dan Teknologi Universitas Sanata Dharma Yogyakarta.
Dalam penulisan Tugas Akhir ini, penulis banyak mendapatkan bantuan
yang berupa dorongan, motivasi, doa, sarana, materi sehingga dapat
terselesaikannya Tugas akhir ini. Oleh karena itu penulis mengucapkan terima
kasih kepada semua pihak yang telah memberikan bantuannya, antara lain
1. Dr. Ir. P. Wiryono Priyotamtama, SJ., selaku Rektor Universitas Sanata
Dharma.
2. Yosef Agung Cahyanta, S.T., M.T selaku Dekan Fakultas Teknik Universitas
Sanata Dharma.
3. Budi Sugiharto, S.T., M.T, selaku ketua Program Studi Teknik Mesin.
4. I Gusti Ketut Puja, S.T., M.T selaku dosen Pembimbing Utama Tugas Akhir.
5. Kepala pimpinan Laboratorium Teknik Mesin PAU-UGM Yogyakarta atas
izinnya melakukan pengujian kekerasan knoop.
6. Kepala Pusat Teknologi Akselerator dan Proses Bahan BATAN Yogyakarta
atas ijinnya untuk melakukan penelitian.
7. Drs. B.A. Tjipto Suyitno, M.T., APU., selaku Kepala Kelompok Akselerator
yang telah memberi izin untuk melakukan penelitian di BATAN Yogyakarta.
ix
8. Ir. Wirjoadi, yang telah mengarahkan dan membimbing penulis didalam
penyusunan Tugas Akhir ini.
9. Pak Karmadi, yang membantu dan memberikan saran serta sebagai
pembimbing dilapangan selama penelitian di BATAN.
10. Pak Bambang, yang membantu memberikan saran dan dukungan selama
dilapangan hingga terselesainya penelitian.
11. Bapak Sutopo yang telah memberikan izin atas penggunaan Laboratorium
Teknik Mesin UNY.
12. Segenap staf karyawan yang ada di PTAPB-BATAN dan Universitas Negeri
Yogyakarta.
13. Segenap staf pengajar Program Studi Teknik Mesin Universitas Sanata
Dharma Yogyakarta yang telah mendidik dan memberikan ilmu pengetahuan
kepada penulis sehingga sangat berguna dalam penyelesaian Tugas Akhir ini.
Penulis menyadari bahwa masih banyak kekurangan-kekurangan yang
perlu diperbaiki dalam penulisan Tugas Akhir ini, untuk itu penulis
mengharapkan masukan dan kritik, serta saran dari berbagai pihak untuk
menyempurnakannya. Semoga penulisan Tugas Akhir ini dapat bermanfaat, baik
bagi penulis maupun pembaca.
Terima kasih.
Yogyakarta, 28 Januari 2009
Penulis
x
DAFTAR ISI
HALAMAN JUDUL ......................................................................................... i
TITLE PAGE .................................................................................................... ii
LEMBAR PENGESAHAN PEMBIMBING .................................................. iii
LEMBAR PENGESAHAN .............................................................................. iv
LEMBAR PERNYATAAN .............................................................................. v
INTISARI .......................................................................................................... vi
LEMBAR PERNYATAAN PERSETUJUAN PUBLIKASI ………………vii
KATA PENGANTAR ....................................................................................... viii
DAFTAR ISI ...................................................................................................... x
DAFTAR GAMBAR ......................................................................................... xiii
DAFTAR TABEL ............................................................................................. xv
BAB I PENDAHULUAN …………………………………………………. 1
I.1 Latar Belakang …………………………………………….…… 1
I.2 Batasan Masalah ………………….……………………… 4
I.3 Rumusan Masalah …………………………………………. 4
I.4 Tujuan Penelitian …………………………………………. 5
I.5 Batasan Masalah …………………………………………. 5
I.6 Manfaat …………………………………………………………. 6
BAB II TINJAUAN PUSTAKA………………………………………….... 7
II.1 Tinjauan Pustaka ………………………………………… 7
xi
II.2 Landasan Teori …………………………………………………. 8
II.2.1 Produksi Baja ………………….………….………….... 8
II.2.2 Sifat Baja ………………….………….………….... 9
II.2.3 Pengaruh Unsur-unsur Paduan Pada Baja ...……… 10
II.2.4 Jenis-jenis Baja ………………………………….……… 13
II.2.4.1 Baja Karbon ………….………….…………………. 13
II.2.4.2 Baja Paduan ………….………….………….……… 13
II.2.5 Pahat Bubut Baja HSS ………….………….…………. 14
II.2.6 Plasma ………….………….………….………….…… 16
II.2.7 Plasma Sputtering ………….………….…………. 17
II.2.8 Proses Pembentukan Lapisan Tipis TiN pada Baja HSS… 21
II. 2.9 Titanium Nitrida ………….………….…………. 23
II.2.10 Uji Kekerasan Knoop ………….…………………….. 25
II. 2.11 SEM & EDS ………….………….………….……… 25
BAB III METODE PENELITIAN …………………………………………. 29
III.1 Diagram Alir Penelitian ………………………………… 29
III.2 Persiapan Bahan & Peralatan Penelitian ………