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CB-050T 1

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製程氣體用閥

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頁尾1

高真空用閥

I N D E X索引

藥液用閥

氣動閥

AMDZ13R

P.1

氣動閥

AMD※13R

P.3

手動閥

MMD※03R

P.11

氣動閥

AMD※12

P.15

手動閥

MMD※02

P.19

氣動閥

AMD61H

P.7

手動閥

MMD60H

P.13

手動閥

MMD00

P.17

手動閥

MMD00

P.9

氣動閥

LGD

P.21

調壓閥

PGM

P.29

手動閥

LGD

P.25

氣動閥

AGD

P.31

手動閥

MVB※17

P.37

真空產生器

VG

P.35

藥液用閥

製程氣體用閥

高真空用閥

藥液用氣動閥

AMDZ13R Series

特　色

• 廣泛的使用壓力範圍（A⇔B：0～0.5MPa）• 可對應各種藥液

產品型錄 No.CC-1177T

項目 AMDZ13R使用流體 純水、藥液、空氣、氮氣 （註1）

流體溫度 °C 5～120（註2）

耐壓 MPa 1.0

使用壓力（A→B） MPa 0～0.5

使用壓力（B→A） MPa 0～0.5

閥座洩漏 cm3/min 0（但是，根據水壓）

背壓 MPa 0～0.5

環境溫度 °C 0～60

頻率 30次/分鐘以下

安裝方式 自由

連接方式 OD1/4”配管連接（一體成型接頭）

孔徑 φ4

Cv值 （註3） 0.25

操作部操作壓力 MPa 0.4～0.5

操作孔口 Rc1/8註1：請先確認產品構成材料與使用流體、周圍環境的適用性後再使用本產品。（請參照頁尾第3頁適用性一覽表。）註2：使用氟酸或含氟酸的藥液時請在5～80°C的溫度範圍內使用。註3：Cv值是溫度為23°C時的數值。註4：關於流量特性，請參照第6頁。註5：接頭連接時所需要的專用工具，請另外向接頭廠商咨詢。

AAMDZ 1 N8BUP 4 HZ03R

B C D E F

型號標示方法

規格

型號 A動作方式 B連接方式 C驅動器選項 D閥體選項 E操作孔口方向 F安裝方法

AMDZ13R-8BUP-Z0N4H NC（常關）

SUPER 300型PILLAR接頭

P系列一體型

1/4"×5/32"

僅限ON • OFF 標準閥體

（PFA） A孔口端4件法蘭

安裝

1

●AMDZ13R-8BUP-Z0N4H外形尺寸圖

操作孔口Rc1/8

B A

4-3.

5

30 36

27

22

124-4.5

8-滿R

17

6

39

54

61

22

（60）

22

8

B孔口 A孔口

2

藥液用閥

藥液用氣動閥

AMD※13R Series●配管內徑： ●●●●●●●●●●●●●●●●

特　色

• 廣泛的使用壓力範圍 （A⇔B ： 0～0.5MPa）• 可對應各種藥液

項目 AMD313R AMD413R AMD513R閥體選項 N（標準閥體）

使用流體 藥液、純水、空氣、氮氣（註1）流體溫度 °C 5～120（註2）耐壓 MPa 1.0使用壓力（A→B） MPa 0～0.5使用壓力（B→A） MPa 0～0.5閥座洩漏 cm3/min 0（但是，根據水壓）

背壓 MPa 0～0.5環境溫度 °C 0～60頻率 30次/分鐘以下 20次/分鐘以下

安裝方式 自由

連接方式OD3/8"配管連接（一體成型接頭）

OD1/2"配管連接（一體成型接頭）

OD3/4"配管連接（一體成型接頭）

OD1"配管連接（一體成型接頭）

孔徑 （註3） φ8 φ10 φ16 φ20Cv值 （註4） 1.25 1.8 5 8

操作部操作壓力 MPa 0.35～0.5操作孔口 Rc1/8

註1：請先確認產品構成材料與使用流體、周圍環境的適用性後再使用本產品。(請參照頁尾第3頁適用性一覽表。）註2：使用氟酸或含氟酸的藥液時請在5～80°C的溫度範圍內使用。註3：每個機種的孔徑，請透過型號標示方法來確認。註4：Cv值是溫度為23°C時的數值。註5：關於流量特性，請參照第6頁。註6：接頭連接時所需要的專用工具，請另外向接頭廠商洽詢。

A

AMD3 10BUP3R N1 4 F00C D EB F G

型號標示方法

規格

產品型錄 No.CC-1177T※對象： AMD413R、 AMD513R

出口貿易管理令管轄對象產品

型號A機種 型號

B動作方式 C連接方式 D驅動器選項 E閥體選項F操作孔口

方向G安裝方法

AMD313R-10BUP-00N4FAMD3

NC（常關）

SUPER 300型PILLAR接頭

P系列

一體型

3/8"×1/4"

僅ON • OFF（附指示器）

標準閥體

（PFA） A孔口端 法蘭安裝AMD313R-15BUP-00N4F 1/2"×3/8"

AMD413R-20BUP-00N4F AMD4 3/4"×5/8"

AMD513R-25BUP-00N4F AMD5 1"×7/8"

3

外形尺寸圖

※1 （連接方式） A10BUP 8615BUP 94

● 　　僅ON • OFF（附指示器）＋ 　 標準閥體＋ 　 法蘭安裝00 N• AMD313R- 　　 -00N4F※1

F

8.5

（A）

B孔口 A孔口AB

2149

78 85（

87）

操作孔口Rc1/8（常關時）

36

36

102-

7

2-8

50

36

36

50

22

62

4滿R

4

藥液用閥

外形尺寸圖

● 　　僅ON • OFF（附指示器）＋ 　 標準閥體＋ 　 法蘭安裝00 N• AMD4※3R- 　　 -00N4F20BUP

F

46

46

8

（118）

2762

101

108

（11

2）

操作孔口Rc1/8（常關時）

B孔口 A孔口AB

9

2-9

2-11

66

46

46

64

28

82

4滿R

5

●流量特性（水）　 差壓ー流量（　）內 ： Cv值

外形尺寸圖

● 　　僅ON • OFF（附指示器）＋ 　 標準閥體＋ 　 法蘭安裝00 N• AMD5※3R- 　　 -00N4F25BUP

F

10

1000

AMD513R(8)

AMD413R(5)

AMD313R(1.8)

AMD313R(1.25)

AMDZ13R(0.25)

流量

[ℓ/分]

100

10

0.05壓力差[MPa]

0.1 0.5

2-9

2-3

61

61

78

40

97

4滿R

60

60

8

（146）

3584

127

134

（13

9）

操作孔口Rc1/8（常關時）

B孔口 A孔口AB

6

藥液用閥

藥液用氣動閥

AMD61H Series●配管內徑： ●●●●●●●●●●●●●●●●

特　色

• 可承受高壓、高背壓

• 【口徑】1 1/4• 酸鹼共用型

項目 AMD61H使用流體 藥液、純水（註1）流體溫度 °C 5～40耐壓 MPa 1.4使用壓力（A→B） MPa 0～0.7閥座洩漏 cm3/min 0（但是，根據水壓）

背壓 MPa 0～0.7環境溫度 °C 0～40頻率 15次/分鐘以下

安裝方式 自由

連接方式 OD1.25"配管連接

孔徑 φ25Cv值 （註2） 14

操作部操作壓力 MPa 0.5～0.7操作孔口 Rc1/8

註1：請先確認產品構成材料與使用流體、周圍環境的適用性後再使用本產品。（請參照頁尾第3頁適用性檢查。）註2：Cv值是溫度為23°C時的值。

AAMD 10BJ1H U6

CB

型號標示方法

規格

型號 A動作方式 B連接方式 C流體

AMD61H-10BJ-U NC（常關）

0D1.25"配管連接 一般流體

出口貿易管理令管轄對象產品

7

外形尺寸圖

●AMD61H-10BJ-U

B孔口 A孔口

75

75 93 111

111

MAX

202

42

12

4-φ938

（198）

AB

X

Y

φ25（孔徑）

操作孔口Rc1/8

8

藥液用閥

藥液用手動閥

MMD00 Series●配管內徑： ●●●●●●●●●●●●●●●●

特　色

• 【口徑】 1/4• 酸鹼共用型

項目 MMD00使用流體 藥液、純水（註1）流體溫度 °C 5～100（註2）耐壓 MPa 1.0使用壓力（A→B） MPa 0～0.5使用壓力（B→A） MPa 0～0.3閥座洩漏 cm3/min 0（但是，根據水壓）

背壓 MPa 0～0.3MPa環境溫度 °C 0～40安裝方式 自由

連接方式 OD1/4"配管連接（一體成型接頭）

孔徑 φ4Cv值 （註3） 0.32註1：請先確認產品構成材料與使用流體、周圍環境的適用性後再使用本產品。（請參照頁尾第3頁適用性檢查。）註2：使用氟酸時，流體溫度超過40°C時請洽詢本公司營業人員。註3：Cv值是溫度為23°C時的數值。

AMMD00 2BJ U

CB

型號標示方法

規格

型號 A機種型號 B連接方式 C流體

MMD00-2BJ-U MMD00

SUPER 300型PILLAR接頭

P系列一體型

1/4"×5/32"配管連接

一般流體

9

外形尺寸圖

●MMD00-2BJ-U

B孔口 A孔口

30

30 38 44

15

MAX

77

6

4-φ3.520

（68）

AB

φ4（孔徑）

10

藥液用閥

藥液用手動閥

MMD※03R Series●配管內徑： ●●●●●●●●●●●●●●●●

特　色

• MMD303R• 酸鹼共用型

項目 MMD303R MMD403R MMD503R使用流體 藥液、純水(註1)流體溫度 °C 5～60耐壓 MPa 1.0使用壓力（A→B） MPa 0～0.5使用壓力（B→A） MPa 0～0.5閥座洩漏 cm3/min 0（但是，根據水壓）

背壓 MPa 0～0.5環境溫度 °C 0～60安裝方式 自由

連接方式OD3/8"配管連接（一體成型接頭）

OD1/2"配管連接（一體成型接頭）

OD3/4"配管連接（一體成型接頭）

OD1"配管連接（一體成型接頭）

孔徑 （註2） φ8 φ10 φ16 φ20Cv值 （註3） 1.25 1.8 5 8註1：請先確認產品構成材料與使用流體、周圍環境的適用性後再使用本產品。（請參照頁尾第3頁適用性檢查。）註2：每個機種的孔徑，請透過型號標示方法來確認。註3：Cv值是溫度為23°C時的數值。

AMMD303R 10BUP 8

CB

型號標示方法

規格

型號 A機種型號 B連接方式 C孔徑

MMD303R-10BUP-8MMD303R SUPER 300型

PILLAR接頭

P系列一體型

3/8"×1/4" 8

MMD303R-15BUP-10 1/2"×3/8" 10

MMD403R-20BUP-16 MMD403R 3/4"×5/8" 16

MMD503R-25BUP-20 MMD503R 1"×7/8" 20

出口貿易管理令管轄對象產品※對象： MMD403R、 MMD503R

11

外形尺寸圖

●MMD※03R

型號 A B C D E F G H I J K LMMD303R-10BUP-8 86 8 8.5 21 62 110 22 38 36 50 62 7

MMD303R-15BUP-10 94 10 8.5 21 62 110 22 38 36 50 62 7

MMD403R-20BUP-16 118 16 9 27 80 138 28 47 46 64 82 9

MMD503R-25BUP-20 146 20 10 35 111 180 40 60 60 78 96 9

H

I J K

E

(MAX

F)

D

C

4-φLG

（A）

AB

φB（孔徑）

B孔口 A孔口

12

藥液用閥

藥液用手動閥

MMD60H Series●配管內徑： ●●●●●●●●●●●●●●●●

特　色

• 可承受高壓、 高背壓

• 【口徑】 1 1/4• 酸鹼共用型

項目 MMD60H使用流體 藥液、純水（註1）流體溫度 °C 5～40耐壓 MPa 1.4使用壓力（A→B） MPa 0～0.7閥座洩漏 cm3/min 0（但是，根據水壓）

背壓 MPa 0～0.7環境溫度 °C 0～40安裝方式 自由

連接方式 OD1.25"配管連接

孔徑 φ25Cv值 （註2） 14註1：請先確認產品構成材料與使用流體、周圍環境的適用性後再使用本產品。（請參照頁尾第3頁適用性檢查。）註2：Cv值是溫度為23°C時的數值。註3：MMD60H系列不可用於調節流量。請在全關或全開的狀態下使用。

AMMD60H 10BJ U

B C

型號標示方法

規格

型號 A機種型號 B連接方式 C流體

MMD60H-10BJ-U MMD60H

SUPER 300型PILLAR接頭

P系列一體型

1 1/4"×1 1/10" 配管連接

一般流體

出口貿易管理令管轄對象產品

13

外形尺寸圖

●MMD60H-10BJ-U

75

75 93 111

MAX

241

42

12

4-φ938

（198）

AB

Y

φ25（孔徑）

B孔口 A孔口

14

藥液用閥

不鏽鋼閥體藥液用氣動閥

AMD※12 Series●配管內徑： ●●●●●●●●●●●●●●●●

特　色

• 【口徑】 3/8　1/2　3/4　1• 不鏽鋼閥體、鋁材質驅動器

項目 AMD312-3BT AMD312-4BT AMD412-6BT AMD512-8BT使用流體 藥液、純水（註1）流體溫度 °C 5～90耐壓 MPa 0.9使用壓力（A→B） MPa 0～0.4使用壓力（B→A） MPa 0～0.4閥座洩漏 cm3/min 0（但是，根據水壓）

背壓 MPa 0～0.4環境溫度 °C 0～60頻率 30次/分鐘以下 20次/分鐘以下

安裝方式 自由

連接方式 3/8"SUS直管型 1/2"SUS直管型 3/4"SUS直管型 1"SUS直管型

孔徑 φ8 φ10 φ16 φ20

操作部操作壓力 MPa 0.5～0.6操作孔口 Rc1/8

註1：請先確認產品構成材料與使用流體、周圍環境的適用性後再使用本產品。（請參照頁尾第3頁適用性檢查。）

AAMD3 3BT2 61 A 4 Q

C D EB F G

型號標示方法

規格

型號 A機種型號 B動作方式 C連接方式 D選項 E驅動器材質 F操作孔口方向 G高壓規格

AMD312-3BT-6-A-4QAMD3

NC(常關) SUS分接管

3/8"×t1.0

附指示器 A5056 A孔口側 雙孔口0.4MPa規格AMD312-4BT-6-A-4Q 1/2"×t1.24

AMD412-6BT-6-A-4Q AMD4 3/4"×t1.24

AMD512-8BT-6-A-4Q AMD5 1"×t1.65

15

外形尺寸圖

●MMD※12

尺寸A B C D E F G H J K L M

型號

AMD312-3BT-6-A-4Q 116 8 50 10.5 35 65 72 74 36 44 18±0.3 M4 深5

AMD312-4BT-6-A-4Q 116 10 50 10.5 35 65 72 74 36 44 18±0.3 M4 深5

AMD412-6BT-6-A-4Q 126 16 61 13.5 47 84 93 97 46 56 26±0.3 M5 深6

AMD512-8BT-6-A-4Q 140 20 60 22 63 105 114 119 60 70 40±0.3 M6 深5

J F MAX

H

G

E

L

D

K

C

（A）

AB

X

Y

φB

2-M

（孔徑）

操作孔口Rc1/8

B孔口 A孔口

16

藥液用閥

不鏽鋼閥體藥液用手動閥

MMD00 Series●配管內徑： ●●●●●●●●●●●●●●●●

特　色

• 【口徑】1/4• 不鏽鋼閥體、鋁材質驅動器

AMMD00 2BT A

B C

型號標示方法

規格

型號 A機種型號 B連接方式 C驅動器材質

MMD00-2BT-A MMD00 1/4"SUS直管型 A5056

項目 MMD00使用流體 藥液、純水（註1）流體溫度 °C 5～80耐壓 MPa 1.0使用壓力（A→B） MPa 0～0.5使用壓力（B→A） MPa 0～0.3閥座洩漏 cm3/min 0（但是，根據水壓）

背壓 MPa 0～0.3MPa環境溫度 °C 0～60安裝方式 自由

連接方式 1/4"SUS直管型

孔徑 φ4註1：請先確認產品構成材料與使用流體、周圍環境的適用性後再使用本產品。

17

外形尺寸圖

●MMD00-2BT-A

B孔口 A孔口

30

30

13

MAX

75

（90）

AB

φ4（孔徑）

20±0.3

20±

0.3

4-M3深4

18

藥液用閥

不鏽鋼閥體藥液手動閥

MMD※02 Series●配管內徑： ●●●●●●●●●●●●●●●●

特　點

• 【口徑】3/8　1/2　3/4　1• 不鏽鋼閥體、鋁材質驅動器

項目 MMD302 MMD402 MMD502使用流體 藥液、純水（註1）流體溫度 °C 5～90耐壓 MPa 1.2使用壓力（A→B） MPa 0～0.4使用壓力（B→A） MPa 0～0.4閥座洩漏 cm3/min 0（但是，根據水壓）

背壓 MPa 0～0.4環境溫度 °C 0～60安裝方式 自由

連接方式 3/8"SUS直管型 1/2"SUS直管型 φ3.4"SUS直管型 φ1"SUS直管型

孔徑 φ8 φ10 φ16 φ20註1：請先確認產品構成材料與使用流體、周圍環境的適用性後再使用本產品。註2：MMD※02系列不可用於調節流量。請在全關或全開的狀態下使用。

型號標示方法

規格

型號 A機種型號 B連接方式 C驅動器材質

MMD302-3BT-AMMD302

SUS直管型

3/8"×t1.0

A5056MMD302-4BT-A 1/2"×t1.24

MMD402-6BT-A MMD402 3/4"×t1.24

MMD502-8BT-A MMD502 1"×t1.65

A

MMD3 3BT AB C

19

外形尺寸圖

●MMD※02

尺寸A B C D E F G H J

型號

MMD302-3BT-A 116 8 50 10.5 96 36 36 18±0.3 M4 深5

MMD302-4BT-A 116 10 50 10.5 96 36 36 18±0.3 M4 深5

MMD402-6BT-A 126 16 61 13.5 121 46 46 26±0.3 M5 深6

MMD502-8BT-A 140 20 60 22 154 60 60 40±0.3 M6 深5

B孔口 A孔口

G

F

D

MAX

E

（A）

C

AB

φB（孔徑）

2-J

H

20

藥液用閥

製程氣體用氣動閥

LGD※1 Series●配管內徑： ●●●●●●●●●●●●●●●●

特　色

• 金屬膜片

項目 LGD11 LGD21使用流體 惰性氣體、製程氣體

使用壓力 Pa (abs)-MPa (G) 1.3×10-6～0.99流體溫度 °C 5～80環境溫度 °C 5～80閥座洩漏 Pa·m3/sec.(He) 1.0×10-10以下

外部洩漏 Pa·m3/sec.(He) 1.0×10-10以下

Cv值 （23°C 加壓下） 0.33/8"　：　0.651/2"　：　0.7

連接方式

1/4"VCR公接頭相當 1/2"VCR公接頭相當（3/8"互換）

1/4"VCR母接頭相當 1/2"VCR母接頭相當（3/8"互換）

1/4"雙重咬合接頭 3/8"雙重咬合接頭

— 1/2"雙重咬合接頭

動作方式 NC型（常關）

操作壓力 MPa NC：0.4～0.6操作孔口 M5重量 kg 0.23 註1 0.57 註1

註1：重量是與VCR公接頭相當的值。

LGD1 4RM1BA

LGD2 8RM1BA

型號標示方法

內部結構及零件一覽表

規格

型號 A動作方式 B連接方式

LGD11-4R

NC（常關）

1/4"母接頭（VCR相當）

LGD11-4RM 1/4"公接頭（VCR相當）

LGD11-4S 1/4"雙重咬合接頭

LGD21-6S 3/8"雙重咬合接頭

LGD21-8R 1/2"母接頭（VCR相當）

LGD21-8RM 1/2"公接頭（VCR相當）

LGD21-8S 1/2"雙重咬合接頭

產品型錄 No.CC-1171T

接氣部材質編號 零件名稱 材 質

1 膜片 Ni-Co　合金

2 閥座 PCTFE

3 主體 SUS316L

1

2

3

OUTIN

21

外形尺寸圖

●LGD11-4RM

●LGD11-4S

●LGD11-4R

●LGD21-8RM

φ37

φ28

57

φ17

45°

OUT

1/4英吋公接頭

2-M5螺絲深度5

IN

（64

）

11

操作孔口M5

φ37操作孔口M5

φ28

78

φ17

45°

OUT

1/4英吋母接頭

2-M5螺絲深度5

IN （64

）

11操作孔口M5

φ48.3

φ3877

φ28

45°

OUT

1/2英吋公接頭

2-M5螺絲深度6

IN

（87

）

16

操作孔口M5φ37

φ28

（67）

φ17

45°

OUT

1/4英吋雙重咬合接頭

2-M5螺絲深度5

IN

（64

）

11

39.1

22

製程氣體用閥

外形尺寸圖

●LGD21-8R

●LGD21-8S

●LGD21-6S

φ48.3 φ48.3

φ38 φ38

104.6（82.5）

φ28 φ28

45° 45°

OUT OUT

1/2英吋母接頭 3/8英吋雙重咬合接頭

2-M5螺絲深度6 2-M5螺絲深度6

IN IN

（87

）

（87

）

16 16

48.9

操作孔口M5 操作孔口M5

φ48.3

φ38

44.6

（90.2）

φ28

45°

OUT

1/2英吋雙重咬合接頭

2-M5螺絲深度6

IN （87

）

16

操作孔口M5

23

24

製程氣體用手動閥

LGD※0 Series●配管內徑： ●●●●●●●●●●●●●●●●

特　色

• 金屬膜片

• 180º 回轉方式

項目 LGD10 LGD20使用流體 惰性氣體、製程氣體

使用壓力 Pa (abs)-MPa (G) 1.3×10-6～0.99流體溫度 °C 5～80環境溫度 °C 5～80閥座洩漏 Pa·m3/sec.(He) 1.0×10-10以下

外部洩漏 Pa·m3/sec.(He) 1.0×10-10以下

Cv值 （23°C、加壓下） 0.3 0.7

連接方式

1/4"VCR公接頭相當 1/2"VCR公接頭相當（3/8"互換）

1/4"VCR母接頭相當 1/2"VCR母接頭相當（3/8"互換）

1/4"雙重咬合接頭 3/8"雙重咬合接頭

— 1/2"雙重咬合接頭

重量 kg 0.26 註1 0.57 註1

註1：重量是與VCR公接頭相當的值。

LGD10 4RMA

LGD20 8RMA

型號標示方法

規格

型號 A連接方式

LGD10-4R 1/4"母接頭（VCR相當）

LGD10-4RM 1/4"公接頭（VCR相當）

LGD10-4S 1/4"雙重咬合接頭

LGD20-6S 3/8"雙重咬合接頭

LGD20-8R 1/2"母接頭（VCR相當）

LGD20-8RM 1/2"公接頭（VCR相當）

LGD20-8S 1/2"雙重咬合接頭

產品型錄 No.CC-1171T

內部結構及零件一覽表

接氣部材質編號 零件名稱 材 質

1 膜片 Ni-Co　合金

2 閥座 PCTFE

3 主體 SUS316L

1

2

3

OUTIN

25

外形尺寸圖

●LGD10-4RM

●LGD10-4S

●LGD10-4R

●LGD20-8RM

φ45φ45

φ28φ28

7857

φ17

φ17

45°

45°

OUTOUT

1/4英吋母接頭1/4英吋公接頭

2-M5螺絲深度5

2-M5螺絲深度5

ININ

6565

1111

φ45 φ45

φ28

39.1 φ38

（67） 77

φ17 φ28

45° 45°

OUT OUT

1/4英吋雙重咬合接頭

1/2英吋公接頭

2-M5螺絲深度5 2-M5螺絲深度6

IN IN

65

79

11

16

26

製程氣體用閥

外形尺寸圖

●LGD20-8R

●LGD20-8S

●LGD20-6S

φ45

φ3844.6

(90.2)

φ28

45°

OUT

1/2英吋雙重咬合接頭

2-M5螺絲深度6

IN

7916

φ45 φ45

φ38 φ3848.9104.6

(82.5)

φ28φ28

45°45°

OUT OUT

1/2英吋母接頭 3/8英吋雙重咬合接頭

2-M5螺絲深度62-M5螺絲深度6

IN IN79 79

16 16

27

28

製程氣體用調壓閥

PGM Series●配管內徑： ●●●●●●●●●●●●●●●●

特　色

• 閥座密封性能高

• 微小流量範圍控制性能穩定

• 潔淨等級可對應超高純度氣體

產品型錄 No.CB-035T

型號PGM- 30 —

PGM-H- — 60使用流體 惰性氣體、製程氣體

1次側最高使用壓力 MPa 1.0

2次側設定壓力 MPa 0～0.21 0～0.42

使用流體溫度 °C -5～40

閥座洩漏 Pa·m3/s（He） 1.0×10-8以下

外部洩漏 Pa·m3/s（He） 2.8×10-12以下

耐壓 MPa 1.5

環境溫度 °C -5～40

與氣體接觸部表面處理 電解研磨規格

連接方式 1/4"JXR接頭（可與VCR連接）　（PGM-※-4RM、4R）

A B CPGM H 60 4RM

型號標示方法

規格

型號 A流量系列 B2次側設定壓力 C連接方式

PGM-30-4R 20l/min 0～0.21MPa（0～30psi） 1/4"JXR母接頭

PGM-30-4RM 20l/min 0～0.21MPa（0～30psi） 1/4"JXR公接頭

PGM-H-60-4R 50l/min 0～0.42MPa（0～60psi） 1/4"JXR母接頭

PGM-H-60-4RM 50l/min 0～0.42MPa（0～60psi） 1/4"JXR公接頭

29

●PGM-※-4R（1/4"JXR母接頭）

●PGM-※-4RM（1/4"JXR公接頭）

● PGM-30 ● PGM-H-60

外形尺寸圖

0.40

0.35

0.30

0.25

0.20

0.15

0.10

0.05

0.00

0.40

0.35

0.30

0.25

0.20

0.15

0.10

0.05

0.000 10 20 30 40 50 60 0 20 40 60 80 100

流量（ℓ/min（ANR））（N2） 流量（ℓ/min（ANR））（N2）

2次側壓力

（MPa）

2次側壓力

（MPa）

P1＝0.7MPaP1＝0.5MPaP1＝0.3MPa

P1＝0.7MPaP1＝0.5MPaP1＝0.3MPa

φ28.5φ28.5

ININ OUTOUT

70.670.6

1818

29294-M5深74-M5深7

11.2

11.2

3030 1818

85（

MAX

95）

85（

MAX

95）

30

製程氣體用閥

製程氣體用氣動閥

AGD11R SeriesAGD21R Series

特　色

• 金屬膜片　　• 標準型

型號標示方法

型號 A尺寸 B流道方向 CNC/NO組合 D連接口徑 E連接方式 F孔口形狀組合

AGD11R-Y11-4R-FFF 1/4" 選擇方式 V1：NC　V2：NC 1/4" JXR母接頭 abc母 • 母 • 母

AGD21R-Y11-6R-FFF 3/8" 選擇方式 V1：NC　V2：NC 3/8" JXR母接頭 abc母 • 母 • 母

2連3口閥

A

AGD 1R1 Y 11 4 R FFFC D EB F

型號 AGD11R AGD21R使用流體 惰性氣體、製程氣體

使用壓力 Pa(abs)-MPa(G) 1.0

流體溫度 °C 5～80

使用環境溫度 °C 5～80

保存環境溫度 °C -10～80

閥座洩漏

Pa·m3/s(He) 1.0×10-10以下

外部洩漏

Pa·m3/s(He) 2.8×10-12以下

Cv值 （23°C、加壓下） 0.3 0.65

連接方式 1/4"JXR母接頭 3/8"JXR母接頭

動作方式 NC型（常關） NC型（常關）

操作壓力 MPa NC：0.4～0.6 NC：0.4～0.6

操作孔口 M5

重量 kg 0.85 1.80

規格

31

外形尺寸圖

●AGD11R-Y11-4R-FFF

V1操作孔口M5 V2操作孔口M5

62.5

14.3

18 30

V2

65

125

V1a c

182-M5螺絲深度6

V2

V1

a c

b

b

32

製程氣體用閥

外形尺寸圖

●AGD21R-Y11-6R-FFF

V1操作孔口M5 V2操作孔口M5

7516

20.2

36

V2

84

150

V1

a c

20.22-M5螺絲深度6

V2

V1

a c

b

b

33

34

製程氣體排出用真空產生器

VG Series●配管內徑： ●●●●●●●●●●●●●●●●

特　色

• 大幅降低供應流體的消耗

• 適應 1 次側壓力變化能力強產品型錄 No.CB-035T

型號 VG使用流體 惰性氣體、製程氣體

流體溫度 °C 0～80

供應流體 MPa 氮氣、乾燥空氣

供應流體壓力 MPa 0.4～0.6（動作時）

供應流體消耗量 ℓ/min(ANR) 16以下　※1

達到真空度 kPa(abs) 13.3以下

排氣量 ℓ/min(ANR) 6　※1 ※2

外部洩漏 Pa·m3/s(He) 2.8×10-12以下

耐壓 MPa 3

環境溫度 °C 0～80

連接方式

IN　：1/4”JXR公接頭（可與VCR接頭連接）

VAC. ：1/4”JXR母接頭（可與VCR接頭連接）

VENT：3/8”JXR公接頭（可與VCR接頭連接）

重量 kg 0.2※1：0.5Mpa 加壓時（動作時）※2：使用流體為空氣時

A BVG 05 F

型號標示方法

規格

型號 A噴嘴口徑（mm） BO形環材質

VG-05F φ0.5 FKM

VG-05P φ0.5 Kalrez®

35

●達到真空度 ●供應流體消耗量 • 排氣量

註： 上述特性下達到真空度在接近峰值附近前的供應壓力（0.4MPa附近）時，會發生異常聲音（噗哧噗哧聲）。另外，這也將會造成影響感測器等的故障，因此

請在規格範圍內提高供應壓力後再使用。

●VG-05※外形尺寸圖

1/4"JXR公接頭 3/8"JXR公接頭

VAC.

VENTIN

26.5 31.5

32.5

1/4"JXR母接頭

100

10

1

20

15

10

5

00 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8

供應壓力 供應壓力

（MPa） （MPa）

（kPa（abs）） （ℓ/min（ANR））

13.3kPa（abs） 消耗量

排氣量

達到真空度

消耗量

•

排氣量

36

製程氣體用閥

特　色

• 利用彈簧進行穩定的密封性能

• 採用鋁材閥體，輕量 • 小型

高真空用手動閥

MVB※17 Series●配管內徑： ●●●●●●●●●●●●●●●●

產品型錄 No.CB-035T

項目 MVB217 MVB317 MVB417 MVB517使用流體 真空及惰性氣體

使用壓力 Pa(abs) 1.3×10－6～1×105

使用最大壓差 MPa 0.1

閥座洩漏 Pa·m3/s(He) 1.3×10-10以下

外部洩漏 Pa·m3/s(He) 1.3×10-11以下

耐壓 MPa 0.3

流體溫度 °C 5～60

環境溫度 °C 0～60（避免結凍）

孔徑 mm φ17 φ24 φ39 φ48

傳導率 註1 ℓ/s 5 13 43 74

連接方式 NW16 NW25 NW40 NW50

操作轉矩　註2 N·m 0.15以上 0.25以上 0.8以上 1.5以上

手柄轉動次數 5 7.5 12 15

重量 kg 0.4 0.6 1.4 2.3註1：傳導率值為分子領域內的理論計算值，並非實際測量值。註2：轉動手柄接近全關位置時，轉動阻力會突然變小，但內部密封是藉由內置彈簧執行，所以不影響關閉能力。註3：外部密封部O形環高真空專用潤滑油。

型號標示方法

規格

AMVB 4 40K17

B

型號 A系列 B連接方式

MVB217-16K 孔徑φ17 NW16只可製作MVB217

MVB317-25K 孔徑φ24 NW25只可製作MVB317

MVB417-40K 孔徑φ39 NW40只可製作MVB417

MVB517-50K 孔徑φ48 NW50只可製作MVB517

37

型號 A BC

D E全關時 全開時

MVB217 φ30（NW16） 40 115 121 40 32

MVB317 φ40（NW25） 50 127 134 45 38

MVB417 φ55（NW40） 65 164 176 64 56

MVB517 φ75（NW50） 70 178 193 77 69

外形尺寸圖

D

φE

D

C

B

A

B

A

C全關時 全開時

38

高真空用閥

39

40

為確保安全使用本產品使用前請務必詳閱。

使用本公司的產品來設計和生產機器設備時，客戶有義務檢查並確認能保證機器設備的機械機構、

空氣控制回路或水控制回路以及藉由對它們進行電氣控制而運轉的整個系統的安全性無虞，並在

此基礎上生產安全的機器設備。

為確保安全使用本公司產品，產品的選擇、使用、操作處理及正確的維護管理都非常重要。

為確保本設備安全，請務必遵守警告、注意事項。

另外，請在確認可保證機器設備安全性的基礎上生產安全的機器設備。

1 本產品是作為一般工業機械用裝置、零件而設計、生產的。

因此，操作處理必須由具有充分知識與經驗的專業人員進行。

2 請務必在產品的規格範圍內使用產品。

不可在產品規格容許範圍之外使用。另外，切勿對產品進行改裝或加工。

本產品適用於一般工業機械裝置、零件，因此請勿在室外（室外適用產品除外）及下列條件或環境中使用。

（但是，在採用時經過與本公司洽談並充分瞭解本公司產品規格要求時，也可視為適用，但必須採取即使出現

故障也可避免危險的安全措施。）

❶ 用於與核能、鐵路、航空、船舶、車輛、醫療器械、飲料、食品等直接接觸的設備或用途、娛樂設備、緊急切

斷電路、沖床機械、制動管路、安全措施等對安全有特殊要求的用途。

❷用於對人員或財產可能會產生重大影響、對安全有特殊要求的用途。

3 與裝置設計、管理等相關的安全性方面，請務必遵守組織標準、法規等。

ISO4414、JIS B 8370（空壓系統通則）

JFPS2008（空壓氣缸的選擇及使用準則）

高壓氣體保安法、勞動安全衛生法及其他安全規則、組織標準、法規等。

4 在確認安全之前，切勿進行本產品的操作及配管、機器的拆卸。

❶ 進行機械、裝置的檢查和裝配時，請在確認與本產品有關的所有系統處於安全狀態後再進行。

❷ 即使運轉已經停止，還可能存在有高溫部份及充電部份，作業時請小心。

❸ 進行機器的檢查、裝配時，請先切斷作為能源供應的壓縮空氣源、供水源、以及相應設備的電源，排掉系統

內的壓縮空氣、並在注意漏水、漏電的前題下進行作業。

❹ 啟動或重新啟動使用空氣壓縮機的機械或裝置時，請確認飛出防止措施等系統安全後再小心操作。

5 為了防止事故，請務必遵守下頁及之後的頁面上所記載的警告和注意事項。

警告

■在此所示的注意事項，按“危險”“警告”“注意”來區分安全注意事項的等級。

危險: 是指如果操作錯誤，可能會出現導致死亡或重傷的危險狀態，而且限於危險發生時緊

急程度（急迫程度）很高的情況。（DANGER）

警告:是指如果操作錯誤，可能會出現導致死亡或重傷等危險狀態的情況。

（WARNING）

注意:是指如果操作錯誤，可能會出現導致輕傷或僅發生物質損害等危險狀態的情況。

（CAUTION）

即使只是記載在“注意”中的事項，隨著現場實際狀況的不同，也有可能造成嚴重傷害。

所有記載的都是重要的內容，請務必遵守。

頁尾 1

訂貨時的注意事項

1 保固期限本公司產品的保固期限為交貨到貴公司指定地點後1.5年。

2 保固範圍上述保固期限內，如果發生的故障明顯是本公司的責任時，將無償提供本產品的替代品或更換必要的零件、或

在本公司的工廠進行免費修理。

但是，如有符合以下狀況時，將排除在保固的對象範圍之外。

①因在產品型錄或規格書中記載以外的條件、環境中操作及使用而引起故障時

②故障是由本產品以外的事由引起故障時

③因採用產品本來使用方式以外的使用方式引起故障時

④因與本公司無關的第三方進行改造或修理引起故障時

⑤因交貨時之技術尚無法預見可能會出現的問題而引起故障時

⑥因天災、災害等無法歸責於本公司的原因引起故障時

另外，此處所稱的保固，僅限於所交貨產品本身，交貨產品的異常引起的相關損害不在保固範圍內。

3 適用性的確認本公司產品與客戶所使用之系統、機械、裝置之間的適用性，必須由客戶自己負責進行確認。

出口時的注意事項

1 關於安全保障出口管理　出口或提供本產品型錄中記載的產品或相關技術時，有些必須要事先獲得許可。

　為了確保維持國際和平、安全，有時必須由產品或相關技術的出口方或提供方事先根據外匯及外國貿易法獲

得有關許可。

　必須獲得許可的產品或相關技術的範圍列在“出口貿易管理令第1附表”或“外匯管理令附表”中。

該“出口貿易管理令 第1附表”或“外匯管理令 附表”由如下2種組成。

x 各項目的第1項到第15項所示“出口管理限制清單”

x 不規定每個項目的規格，而是根據用途實施限制的“全面出口管制措施”（第16項）

2 關於本產品型錄中記載的產品或相關技術　本產品型錄中記載的產品或相關技術中，包括外匯及外國貿易法限制清單所列對像內容。

　對於外匯及外國貿易法限制清單所列對象的產品或相關技術，會在該產品所在頁註明“屬於限制對象”。

　因此，出口或提供屬於限制清單所列之產品或相關技術時，請根據外匯及外國貿易法取得出口許可。

　同時，在出口或提供本產品型錄所記載的產品或相關技術時，請務必注意防止將其用於武器或與武器相關

的用途中。

3 諮詢方式　關於本產品型錄所記載的產品或相關技術的安全保障出口管理的諮詢，請洽詢本公司業務人員。

必須獲得許可的產品

或

相關技術的範圍

第1項到第15項所示“出口管理限制清單”

列入“出口貿易管理令 第1附表”或“外匯令 附表”

根據用途實施限制的“全面出口管制措施”（第16項）

列入“出口貿易管理令 第1附表”或“外匯令 附表”

許可申請手續，

根據產品或相關技術，出口目的地或提供方的組合內容，向經濟產業省安全保障貿易審查科或者各地

經濟產業局申請。

頁尾 2

產品與使用流體的適用性檢查表

※本檢查表是依據以往評估及經驗編制而成，表中列出的資料並非表示性能的保證值。

※使用流體除純水以外，必須由具有化學專業知識的人員對所使用流體與產品材料的適用性進行確認，然後再由客戶自己判斷是否可以使用。

註1 ： 因大多數情況下為各種藥液的混合液，故無法百分百準確的掌握其可能造成的。請先充分確認產品構成材料與使用流體的適用性後判斷可否使用。

註2 ： 使用流體為氟酸或含有氟酸的藥液時其流體溫度為5～80ºC。（MMD-Part3R為5～60ºC）註3 ： 用於溫度超過100ºC以上的硫酸+雙氧水時，請與本公司洽詢。註4 ： 用於流體溫度為80ºC以上的胺類去光阻液時，請定期更換。建議最少每年更換1次作為參考標準。註5 ： 用於氣體時，可能會發生最大1cm3/min（空氣壓力下）的閥座洩漏。註6 ： 若為高濃度流體時，請使用無金屬型MMD※0M（型錄No.CB-031T）。

判定

● 可以使用。（請在產品記載頁確認詳細情況。）

請諮詢洽談。（部分條件下可以對應）

× 不可使用。

流體名稱

判　定

AMD-Part3R MMD-Part3R AMD61H MMD60HAMD※12/MMD※02

不鏽鋼主體

純水 ● ● ● ● ×

酸性流體

硫酸 ● ● ● ● ×

鹽酸 ● △(註6) ● ● ×

硝酸 ● ● ● ● ×

氟酸 ●(註2) ● ● ● ×

磷酸 ● ● ● ● ×

氟化銨 ●(註2) ● ● ● ×

雙氧水 ● ● ● ● ×

臭氧水 × △ × ×

硫酸＋雙氧水 ●(註3) ● ● ● ×

硫酸＋臭氧 × △ × ×

鹼性流體

氫氧化鈉 ● ● ● ● ●

氫氧化鉀 ● ● ● ●

氨水 ● ● ● ● ●

有機類流體

丙酮(Acetone) × × △ ●

乙酸丁酯 × × △ ●

異丙醇 ● ● ● ● ●

其他 • 混合液

稀釋劑 × × ● ● ●(註1)光阻劑 ●(註1) ●(註1) ● ● ●(註1)顯像液 ●(註1) ●(註1) ● ● ●(註1)研磨液(Slurry) ●(註1) ●(註1) ● ● ●(註1)電鍍液 ●(註1) ●(註1) ● ● ●(註1)去光阻液 ●(註1、4) ●(註1) ● ● ●(註1、4)

氣體 空氣 • 氮氣 ●(註5) ●(註5) ● ● ●(註5)

技術資料

頁尾 3

技術資料

型　號流量【L/min】

差壓 ：0.05MPa 差壓 ：0.1MPa 差壓 ：0.3MPa 差壓 ：0.5MPaAMDZ13R-8BUP-Z0N4H 3 4 6 8AMD313R-10BUP-00N4H 13 18 31 40AMD313R-15BUP-00N4H 18 26 45 58AMD413R-20BUP-00N4H 51 72 125 161AMD513R-25BUP-00N4H 81 115 199 257

※計算條件　流體：水　溫度：常溫

●AMD系列流量特性表

●LGD系列流量特性表

型號 Cv值 流量【L/min】一次壓：0.05MPa 一次壓：0.1MPa 一次壓：0.3MPa 一次壓：0.5MPa

LGD1 ※系列 0.3 85 120 239 358

LGD21-6S 0.65 184 260 518 776

LGD2※系列

(LGD21-6S除外)0.7 198 280 558 835

※計算條件　流體：N2　溫度：常溫　2次側大氣開放

頁尾 4

金屬墊圈面密封接頭

【金屬墊圈面密封接頭】

型號例

特徵

使用金屬密封圈密封式，可在超高真空～高壓、低溫～高溫之廣泛範圍內，

適用高純度配管的高性能密封接頭。

可在最小限度間隙內進行拆裝

結構

透過組裝公螺帽與母螺帽，接頭前端的2個密封膠夾入墊圈進行密封。

幾乎無需拆除，即使在狹小的空間也能輕鬆拆下

密封膠

內螺紋接頭 外螺紋接頭

密封圈

外螺紋螺母母螺帽

AGD11R-4R：母接頭

AGD11R-4RM：公接頭

二重卡套式接頭

【二重卡套式接頭】

型號例

特徵

不鏽鋼鋼管無需前端加工，安裝簡單，因此適用於機床或科學儀器等廣泛領域的接頭

結構

使用具有密封功能的前套圈、以及夾緊配管的後套圈

AGD11R-4S：雙重咬合接頭

幾乎無需拆除，即使在狹小的空間也能輕鬆拆下

墊圈

公螺帽

公接頭

密封膠

母螺帽

母接頭

螺帽前卡套

後卡套

配管

本體

技術資料

頁尾 5

接頭尺寸注意點

【接頭尺寸注意點】

金屬墊圈面密封接頭

可連接的組合

二重卡套式接頭

※3/8英吋與1/2英吋尺寸僅流路內徑不同，螺絲尺寸相同，可連接。

※僅同尺寸的不鏽鋼鋼管可連接。

1/4英吋公接頭

1/4英吋雙重咬合接頭 1/4英吋不鏽鋼鋼管

3/8英吋雙重咬合接頭 3/8英吋不鏽鋼鋼管

1/4英吋母接頭

連接螺絲尺寸相同

僅同尺寸鋼管

3/8英吋公接頭 3/8英吋母接頭

1/2英吋母接頭 英吋母接頭 英吋公接頭

雙重咬合接頭

技術資料

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無塵組件

為半導體製品的發展做出貢獻的製程氣體、惰性氣體用組件

減少選擇、設計、製作圖面的工時

減少報價、交貨期管理的工時及傳票張數

減少加工、組裝、檢驗工時 = 僅需 IN/OUT 配管施工即可！

客戶只需提供流程與規格條件！

其餘全部交給 CKD ！

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• 想在高溫下使用

• 想要擁有高耐久商品

• 想要調壓閥

• 想維護集積閥

• 想購買組件

如果您對藥液、氣體、 真空的控制存有疑問……請直接聯繫CKD精密元件

營業人員！

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TAIWAN CKD CORPORATION

CKD USA CORPORATION

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CKD EUROPE B.V.CKD EUROPE BRANCH

CKD FRANKFURTOFFICE

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CKD SINGAPORE PTE. LTD.CKD CORPORATION BRANCH OFFICE

CKD VIETNAM ENGINEERING CO.,LTD

PT CKD TRADING INDONESIA

M-CKD PRECISION SDN.BHD.

CKD THAI CORPORATION LTD.

CKD INDIA PRIVATE LTD.CKD INDIA PRIVATE LTD. BANGALORE BRANCH

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CKD MEXICO, S. DE R.L. DE C.V.

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ThailandCKD THAI CORPORATION LTD.●SALES HEADQUARTERS

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